SEM掃描電子顯微鏡的產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)如下：
1、景深長，視野大
掃描電鏡物鏡使用小孔視角和長焦距因而景深較大。相同放大倍數(shù)時(shí)掃描電鏡景深比透射電鏡大且比光學(xué)顯微鏡大很多。掃描電鏡中二次電子的產(chǎn)生量和電于束入射角度在試樣表面上的漲落有一定關(guān)系，因此，掃描電鏡成像立體感較強(qiáng)，可以用來觀察試樣三維立體結(jié)構(gòu)。
2、樣品制備
簡單掃描電鏡的樣品室較大，可觀察大到200毫米，高為幾十毫米的樣品。掃描電鏡的樣品制備相比透射電鏡而言要簡單得多，樣品可以是斷口，塊體，粉體等。對(duì)于導(dǎo)電的樣品只要大小合適即可直接觀察，對(duì)于不導(dǎo)電的樣品需在樣品表面噴鍍一層導(dǎo)電膜后進(jìn)行觀察。
3、分辨本領(lǐng)高，倍率連續(xù)可調(diào)
掃描電鏡具有很高的分辨率，普通掃描電鏡的分辨率為幾納米，場發(fā)射掃描電鏡的分辨率可達(dá)1nm，已十分接近透射電鏡的水平。光學(xué)顯微鏡只能在低倍率下使用，而透射電鏡只能在高倍率下使用，掃描電鏡可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，彌補(bǔ)了從光學(xué)顯微鏡到透射電鏡觀察的一個(gè)很大的跨度，實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品從宏觀到微觀的觀察和分析。
4、綜合分析能力強(qiáng)
掃描電鏡可以對(duì)樣品進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，傾斜等操作，能對(duì)樣品的各個(gè)部位進(jìn)行觀察。此外，掃描電鏡可以安裝不同的檢測器(如能譜儀(EDS)，波譜儀(WDS)以及電子背散射衍射(EBSD)等)來接收不同的信號(hào)，以便對(duì)樣品微區(qū)的成分和晶體取向等特性進(jìn)行表征。
