環(huán)境真空掃描電鏡是指掃描電子顯微鏡的一個(gè)重要分支，環(huán)境掃描電子顯微鏡除了像普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內(nèi)設(shè)為高真空，檢驗(yàn)導(dǎo)電導(dǎo)熱或經(jīng)導(dǎo)電處理的干燥固體樣品以外，還可以作為低真空掃描電鏡直接檢測非導(dǎo)電導(dǎo)熱樣品，無需進(jìn)行處理，但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。
環(huán)境掃描電鏡既可以在高真空狀態(tài)下工作，又可以在低直空狀態(tài)下工作。在利用高真空功能的時(shí)候，對于非導(dǎo)電材料和濕潤試樣，要經(jīng)過固定、脫水，干燥，鍍膜等系列處理后方可觀察。利用低真空功能，樣品可以省略預(yù)處理環(huán)節(jié)，直接觀察試樣，不存在化學(xué)固定所產(chǎn)生的各種問題，甚至可以觀察活體生物樣品。
環(huán)境真空掃描電鏡的工作原理：
采用多級真空系統(tǒng)、氣體二次電子信號探測器等設(shè)計(jì)。觀察不導(dǎo)電樣品不需要鍍導(dǎo)電膜，可以在控制溫度、壓力、相對濕度和低真空度的條件下進(jìn)行觀察分析含水的、含油的、已污染的、不導(dǎo)電的樣品，減少了樣品的干燥損傷和真空損傷。
在高真空的常規(guī)掃描電鏡中，用標(biāo)準(zhǔn)的EverhartThornley探測器來接受被高能入射電子激發(fā)的樣品的信號電流，經(jīng)放大后形成圖像。
環(huán)境真空掃描電鏡的用途：
1、樣品不需噴C或Au，可在自然狀態(tài)下觀察圖像和元素分析。
2、可分析生物、非導(dǎo)電樣品(背散射和二次電子像)。
3、可分析液體樣品。
4、±20℃內(nèi)的固液相變過程觀察。
5、分析結(jié)果可拍照、視頻打印和直接存盤(全數(shù)字化)。
