環(huán)境掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，結(jié)合了傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡(SEM)和環(huán)境控制技術(shù)。與常規(guī)掃描電子顯微鏡相比，它能夠在較高的氣壓下進(jìn)行成像，因此可以觀察到許多傳統(tǒng)掃描電鏡無法觀察的樣品，如含水樣品、生物樣品和某些濕氣或易揮發(fā)的物質(zhì)。
環(huán)境掃描電子顯微鏡的基本工作原理與傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡類似，都是通過電子束與樣品相互作用，產(chǎn)生各種信號來進(jìn)行成像和分析。它在樣品表面周圍創(chuàng)建了一個可控的環(huán)境，使得樣品可以在較高的氣壓下進(jìn)行觀察，而不需要在真空環(huán)境中進(jìn)行。
具體來說，環(huán)境掃描電子顯微鏡的工作流程包括以下幾個步驟：
1、電子束產(chǎn)生
電子束的產(chǎn)生是工作原理中的首要步驟。電子束通常由電子槍產(chǎn)生，該電子槍會加速電子至高能狀態(tài)。這些高能電子通過電磁透鏡聚焦成一個細(xì)小的電子束，并射向樣品表面。電子束在與樣品表面相互作用時，會產(chǎn)生多種信號，其中包括二次電子、背散射電子、X射線等，這些信號可以被探測器捕獲，從而形成樣品的圖像或獲取樣品的元素信息。
2、樣品的環(huán)境控制
傳統(tǒng)的掃描電鏡工作時，樣品通常需要被置于高真空環(huán)境中，這樣能夠避免空氣分子與電子束發(fā)生干擾。然而，這樣的環(huán)境會導(dǎo)致一些濕度較高的或易揮發(fā)的樣品發(fā)生形變，甚至被破壞。而它能夠在一定氣壓和濕度條件下進(jìn)行樣品觀察。
3、信號檢測與成像
通過探測由電子束與樣品相互作用后產(chǎn)生的信號，構(gòu)建出樣品的高分辨率圖像。常見的信號檢測器包括二次電子探測器、背散射電子探測器和X射線探測器等。通過這些探測器收集信號，并經(jīng)過放大、轉(zhuǎn)換，最終呈現(xiàn)出樣品表面的圖像。
環(huán)境掃描電子顯微鏡通過將樣品置于控制環(huán)境中，克服了傳統(tǒng)掃描電鏡中無法處理濕態(tài)和易揮發(fā)樣品的問題。同時在環(huán)境控制和樣品保護(hù)方面有顯著的優(yōu)勢，使其在生命科學(xué)、材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
