SEM掃描電子顯微鏡的應(yīng)用范圍非常廣泛，不僅掃描電子顯微鏡的應(yīng)用范圍非常廣泛，不僅在材料科學(xué)領(lǐng)域有深入的應(yīng)用，還在其他多個(gè)領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。
SEM掃描電子顯微鏡的工作原理是利用細(xì)聚焦的高能電子束在樣品表面掃描，通過(guò)電子束與物質(zhì)的相互作用來(lái)激發(fā)各種物理信號(hào)。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊樣品表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域會(huì)產(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射等多種物理信息。
這些物理信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)過(guò)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度，從而形成一幅反映樣品表面形貌的圖像。其中，二次電子為入射電子所激發(fā)的樣品原子外層電子，對(duì)試樣表面的狀態(tài)非常敏感，主要用于掃描電鏡下試樣表面形貌的觀察。
在材料科學(xué)中，SEM可以用來(lái)觀察材料的微觀組織形貌，進(jìn)行層表面形貌分析和深度檢測(cè)，對(duì)區(qū)域的化學(xué)成分進(jìn)行分析，以及對(duì)微組織和超微尺寸材料的研究。此外，SEM在電子元器件領(lǐng)域的應(yīng)用也非常顯著。例如，SEM可以用來(lái)觀察各種電子元器件的表面形貌，包括芯片、晶體管、電容器、電感器等，通過(guò)SEM觀察元器件的表面形貌可以檢測(cè)元器件的制造質(zhì)量和缺陷，如表面平整度、表面粗糙度、表面缺陷等。
除此之外，SEM對(duì)于冶金、礦物、生物學(xué)等領(lǐng)域的探索也起到了關(guān)鍵的作用。在航空、汽車地學(xué)、半導(dǎo)體制造、陶瓷品等產(chǎn)業(yè)中，SEM掃描電子顯微鏡也有著廣泛的應(yīng)用。因此，SEM作為一種功能強(qiáng)大的工具，已成為各個(gè)領(lǐng)域中重要的研究設(shè)備。
