隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的聚焦離子束(FIB)技術(shù)利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，配合聚焦離子束電鏡等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。
典型的聚焦離子束電鏡包括液態(tài)金屬離子源及離子引出極、預(yù)聚焦極、聚焦極所用的高壓電源、電對(duì)中、消像散電子透鏡、掃描線圈、二次粒子檢測(cè)器、可移動(dòng)的樣品基座、真空系統(tǒng)、抗振動(dòng)和磁場(chǎng)的裝置、電路控制板和電腦等硬件設(shè)備。外加電場(chǎng)于液態(tài)金屬離子源，可使液態(tài)鎵形成細(xì)小頂端，再加上負(fù)電場(chǎng)牽引頂端的鎵，而導(dǎo)出鎵離子束。在一般工作電壓下，以電透鏡聚焦，經(jīng)過(guò)可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過(guò)二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來(lái)達(dá)到切割的目的。
聚焦離子束電鏡主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài)，可用于顯微結(jié)構(gòu)的分析和納米尺寸的研究。電鏡具有景深大，圖象富有立體感等特點(diǎn)，其景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍，且分辨率較高，可放大十幾倍到幾十萬(wàn)倍。與能譜儀(EDX)組合可廣泛用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)等領(lǐng)域。
